Q. TEM 과 SEM의 차이가 어떻게 되나요?

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TEM vs SEM

(R&D에서 평가분석 분야에서 사용하죠?)

 

TEM - transmission electron microscope/ 투과전자현미경

SEM - scanning electron microscope/ 원자탐침현미경

 

공통점?

둘모두 높은 에너지의 전잡빔을 입사물질로 사용

입사전자와 분석물질과의 상호작용에 의해 영향을 받은 전자를 받아서 분석

입사전자의 궤도와 빔크기를 자기장과 전기장을 이용하여 조정

 

차이점?

TEM은 시편을 투과한 전자들을 분석, 재료내부 구조를 분석한다

SEM은 시편으로 부터 발생된 이차전자의 크기로 부터 재표 표면의 이미지 분석

 

이외에도 광학현미경, 형광 현미경, 주사전자 현미경 등이 존재

 

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